城大研發新一代電子顯微鏡 成像快速 解像度升 可助醫學研究

城大團隊成功研發全球首部具掃描及透射功能一體化的電子顯微鏡，可同時看到樣本表面及穿透部分。團隊指，新系統可進一步提升成像解像度，提供微納米甚至原子尺度的測量和分析，可用於醫學、集成電路等行業，協助做研究及檢測，現計劃募資5,000萬人民幣用作生產，冀半年後可推出市場。

城大團隊研發出新一代電子顯微鏡，系統包括「脈衝電子源」、「分段抽氣真空系統」、「超快相機」及「像差校正器」。團隊指，電子顯微鏡能提供微納米甚至原子尺度的測量和分析，相比一般電子顯微鏡只能看到樣本的表面，新系統具備低電壓、場發射及掃描透射模式，穿透力更強，可看到樣本的整個厚度。

市面首部 兼具掃描及透射功能

帶領團隊的城大材料科學及工程學系材料工程講座教授陳福榮稱，新一代電子顯微鏡為市場上首部同時具備掃描及透射功能的電子顯微鏡，團隊獨創的分級泵浦設計有助提升成像的解像度，而搭載背散射及二次電子探測器能增加對樣品的靈敏度，並減低對樣品表面的損害，有效完成樣品掃描、放大及成像。

他又指，透過在相機加裝偏向器，令成像速度不再受限於輸出時間，可於5分鐘內完成，像差校正器則進一步提升解像度。他補充，該電子顯微鏡可用於醫學、材料學及集成電路等不同研究領域。

陳稱未來計劃主要在港完成電子顯微鏡的設計部分，生產製造在深圳福田，未來更有機會與廣州一間芯片檢測公司合作，由該公司代理售賣100部電子顯微鏡。

記者：吳慧慈

美術：顏玉玲