科研成果｜城大研新一代電子顯微鏡系統 可供桌面版使用 預計半年後正式推出市場

城大材料科學及工程學系材料工程講座教授陳福榮團隊，成功自行研發及生產新一代電子顯微鏡，包括「脈衝電子源」、「分段抽氣真空系統」、「超快相機」及「像差校正器」，提供微納米甚至原子尺度的測量和分析，為全球首家擁有相關科研實力的大學。

像差校正器提升成像的解像度
 

團隊表示，目前的電子顯微鏡未能解決長久以來有關幅射損害及靜態圖像樣本的樽頸問題，而體積亦難以應用於空間有限的環境如太空穿梭機。團隊設計出可供桌面版電子顯微鏡使用的脈沖電子源和快速相機。在快速相機上加裝偏向器，令成像速度不再受制於成像輸出時間，而像差校正器更進一步提升成像的解像度。

團隊指，由於電子顯微鏡能以明顯高於光學顯微鏡的分辨率成像，並提供微納米甚至原子尺度的測量及分析，因此在醫學、材料學及集成電路等研究行業中廣受歡迎。團隊又指，最終目標是研發出一款小型高時空分辨「量子」電子顯微鏡，用以研究光束靈敏材料的原子動態。
 

新一代電子顯微鏡穿透力更強   可看到整個厚度
 

陳福榮教授表示，其突破性技術結合了高端投射電子顯微鏡與掃描電子顯微鏡，一般電子顯微鏡只能看到物質的表面，但此系統接觸器更快，穿透力更強，可以看到整個厚度，適用於檢測芯片是否有缺陷。他指出，團隊擁有相關的知識產權，並可自由設計系統，因此未來將可用較低成本生產特定的小型電子顯微鏡，相關儀器目前的定價在人民幣約40萬到60萬左右。

陳續指，目前內地有一家專門進行芯片檢測的公司已與其聯絡，預計將幫忙推廣售賣出100台的顯微鏡給工業界。另外，他指出未來還會繼續優化設備以符合不同領域的應用，並會將基本設計放在香港，生產製造放在福田，現計劃募資5000萬元人民幣用作生產，預計半年後可正式推出市場。

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撰文: 吳慧慈
責任編輯 : 陳浩義